电镜不导电样品在不同靶材镀膜下的高倍对比

2014-06-19 17:44  下载量:27

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离子溅射仪是现阶段配套电镜进行非导电样品镀膜的常用设备,而不同靶材镀出来的颗粒度,均匀度也是不一样的,这个资料反映出同一样品在相同成像条件(电压,倍率,束流等)下使用不同靶材的对比结果。

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