洁净室空气洁净度等级标准 ?

2015-05-07 09:22  下载量:44

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?ISO 14644?根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um?范围内呈累积分布的粒子群。

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