半导体洁净厂房中的四大污染物

2015-12-23 09:27  下载量:1

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污染是可能将新兴的芯片生产工业扼杀于摇篮中的首要问题之一。半导体工业起步于由航空工业发展而来的洁净室技术。如今,大规模的复杂的洁净室辅助工业已经形成,洁净室技术也与芯片的设计及线宽技术同步发展。通过不断地解决在各个芯片技术时代所存在的污染问题,这一工业自身也得到了发展。以前的一些小问题,有可能成为当今芯片生产中足以致命的缺陷。

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