风淋室在光学薄膜洁净室的应用方法

2017-02-16 14:29  下载量:2

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风淋室属于光学薄膜洁净室的一种常见设施。光学薄膜主要由薄的分层介质构成的,通过界面传播光束的一类光学介质材料,如今光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割。膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的,可以是透明介质,也可以是光学薄膜吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为在制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,其表面

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