方案摘要
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洁净棚是种投资少而洁净级别又能达到要求的局部净化装置,具有可移动,管理方便等特点,通常做法是将FFU过滤机组单元安装在由专业净化材料组合而成的框架上,四周用防静电围帘或铝型材做成的局部净化空间上,通过风机过滤空气,底部通风的净化系统等形式,使得理想空间内洁净度达到10-10万级等要求.
文献贡献者
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