OLYMPUS OLS4100 3D测量激光扫描共焦显微镜

OLYMPUS OLS4100 3D测量激光扫描共焦显微镜

报价:面议
型号: OLS4100
产地: 日本
品牌: 奥林巴斯
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核心参数
产品详情

OLS4100非接触式、无损、快速成像测量,分辨率在微米和亚微米级别。采用405nm半导体激光光源的专用光学系统和独有的双共焦光学系统,可删除未聚焦区域的信号,只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。平面最高分辨率可达0.12um;同时结合高精度的光栅读取能力,可以生成高画质的影像,实现精确的3D测量。使得在Z方向上达到了10 nm的高度分辨率。

配备双共焦光路,对含有不同反射率的样品,也能获得清晰的图像;可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。

LEXT OLS4100其应用领域非常广泛,可用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D 表面形貌、2D 的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等,样品包括MEMS(微电子机械系统)、半导体、晶体、液晶、金属材料、陶瓷、化学材料等。

    主体规格                  

LSM部件

光源/探测器

光源:405nm半导体激光,探测器:光电倍增管                                      

总倍率

108x-17,280x

变焦

光学变焦:1x-8x

测量

平面测量

重复性

100x3σn-1=0.02μm

正确性

测量值±2%


方式

物镜转换器上下驱动方式

行程

10mm

标尺分辨率

0.8nm

显示分辨率

1nm

移动分辨率

10nm



重复性

50xσn-1=0.012μm

正确性

0.2±L/100μm以内(L=测量长度μm

彩色观察单元

光源/探测器

光源:白色LED,探测器:1/1.8-inch200万像素单晶片CCD

变焦

数码变焦:1x-8x

物镜转换器

明视场六孔电动转换器

微分干涉法单元

微分干涉法滑杆:U-DICR,内置偏振光片单元

物镜

明视场平场半复消色透镜5x10x

LEXT-专用平场复消色透镜20x50x100x

Z轴调焦单元行程

100mm

X/Y轴载物台

100×100mm(电动载物台),可选:300mm×300mm

物镜规格

型号

倍率

视场

工作距离(W.D.

数值孔径(N.A.

MPLFLN5X

108~864X

2560~320μm

20.0mm

0.15

MPLFLN10X

216~1728X

1280~160μm

11.0mm

0.30

MPLAPON20XLEXT

432~3456X

640~80μm

1.0mm

0.60

MPLAPON50XLEXT

1080~8640X

256~32μm

0.35mm

0.95

MPLAPON100XLEXT

2160~17280X

128~16μm

0.35mm

0.95


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杭州全谱实验室设备有限公司为您提供奥林巴斯OLYMPUS OLS4100 3D测量激光扫描共焦显微镜,奥林巴斯OLS4100产地为日本,属于进口激光共聚焦显微镜,除了OLYMPUS OLS4100 3D测量激光扫描共焦显微镜的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供OLYMPUS SZ61 体视显微镜,杭州全谱客服电话400-860-5168转3060,售前、售后均可联系。
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