型号: | Dektak XT |
产地: | 德国 |
品牌: | 布鲁克 |
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应用领域: |
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布鲁克DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供无与伦比的重现性,重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰,更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品,DektakXT实现了高性能。
操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代 Dektak 台阶仪能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。
DektakXT 利用独特的直接驱动扫描样品台,将测量时间加快 40%。Vision64 是布鲁克的 64 位并行处理操作和分析软件,能够更快地加载 3D 形貌文件,并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。
单拱门结构设计使 DektakXT 更坚固,从而将环境噪音的影响降至低。DektakXT 升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响,并采用现代处理器,大限度地减少噪声水平,使其成为能够测量 <10nm 台阶高度的更强大的系统。
布鲁克的 Vision64 软件通过提供直观、简化的用户可视化界面,加入到 DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合,可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析,还是应用自定义筛选器设置和计算,DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果,同时显示其他可能的分析工具。
DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针,同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供广泛的探针尺寸和形状,几乎满足任何应用需求。
DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式,以无与伦比的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。
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