樫山工业KASHIYAMA大排量真空泵SDL20E60_价格-上海尔迪仪器科技有限公司

KASHIYAMA大排量真空泵SDL20E60

参考价：¥5万 - 10万

型号：

SDL20E60

产地：

日本

品牌：

樫山工业

评分：

产品详情

KASHIYAMA大排量真空泵SDL20E60特点

1.可用于大尺寸的Wafer & FPD

大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。

2.缩短周期时间

大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室

用于溶剂抽空的泵也在排队

型号	SDL20E60
最大排气速度 [L/min] *1	40,000
极限真空度 [Pa] *1	0.8
电源电压 (50/60Hz)	3Phase AC200～220V,?380～480V
尺寸 [mm] L×W×H	1370×850×1295
重量 [kg]	800

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