型号: | SDL36E60 |
产地: | 日本 |
品牌: | 樫山工业 |
评分: |
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KASHIYAMA大排量真空泵SDL36E60
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力,可实现高速泵送,最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
KASHIYAMA大排量真空泵SDL36E60
型号 | SDL36E60 |
最大排气速度 [L/min] *1 | 60,000 |
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 |
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V,?380~480V |
尺寸 [mm] L×W×H | 1370×850×1295 |
重量 [kg] | 920 |
*1) 氮气吹扫不工作状态下
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