白光干涉仪和激光干涉仪有哪些区别

2021-11-19 17:24  下载量:11

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激光干涉仪定义:以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。 激光干涉仪具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

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