资料摘要
资料下载——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学 FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案，可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。
文献贡献者
DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机
Diener PLASMA 大气压等离子清洗机
YAMATO REM710 切片机
YAMATO SM830 高压蒸汽灭菌器 带自动干燥功能
Bruker VERTEX 80/80v 傅立叶变换红外光谱仪
Bruker VERTEX 70v 傅立叶变换红外光谱仪
bruker布鲁克 JV-QCVelox X射线衍射仪 XRD
bruker布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD
bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP
yamato有机溶剂清洗装置GWS410
yamato有机溶剂回收装置GAS411C（用于喷雾干燥机）
yamato喷雾干燥器DL411C
yamato喷雾干燥机GB211C-B
yamato喷雾干燥器GB211C-A
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