等离子灰化仪PR300设备主要技术指标及功能配置

2013-10-30 17:21  下载量：1

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设备主要技术指标及功能配置： （一）、主要技术指标 1. 工作模式：DP方式 2. RF功率：max.300W可调 3. RF振荡频率：13.56MHz 4. 输出阻抗：50Ω 5. 调谐方式：手动2轴同调方式 6. 反应槽尺寸：ø64×160mm，3个反应室 7. 气体输入口：1/4” 8. 外形尺寸：438×520×656（W×D×H） 9. 重量：38Kg 10. 工作电源：单相AC100V/1KVA

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上海丰寿实业有限公司
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