产品介绍|Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE

上海尔迪仪器科技有限公司

2022/09/16 11:44

——用于几乎所有先进薄膜或产品晶片测量的先进多模计量

FilmTek™ 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了FilmTek技术，为从研发到生产的几乎所有薄膜测量应用提供了业界领先的精度、精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。

作为我们组合计量产品线（“标准杆数-SE”）的一部分，FilmTek 2000标准杆数-SE能够满足主流应用所需的平均厚度、分辨率和光谱范围之外的测量要求，并由标准仪器提供。

它在超薄到薄膜（特别是多层堆叠中的薄膜）上提供了可重复的厚度和折射率测量。此外，与传统的椭偏仪和反射仪相比，该系统对这些样品中的不均匀性更加敏感。这是FilmTek 2000标准杆数-SE多模设计的结果，该多模设计将基于高性能旋转补偿器的光谱椭圆偏振仪与我们的多角度差分偏振测量（MADP）和差分功率谱密度（DPSD）技术、扩展/宽光谱范围DUV多角度偏振反射仪、我们抛物面镜光学设计相结合，以及先进的Filmtek软件。

允许同时确定：
·多层厚度
·折射率[n（λ）]
·消光（吸收）系数[k（λ）]
·能带隙
·成分（例如，SiGex中的Ge百分比、GaxIn1-xAs中的Ga百分比、AlxGa1-xAs中的Al百分比等）
·表面粗糙度
·组分，空隙率
·结晶度/非晶化（例如多晶硅或GeSbTe薄膜）
·薄膜梯度

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