FTIR傅里叶红外在硅材料分析中的应用

上海尔迪仪器科技有限公司

用于超高灵敏度硅材料质量控制分析的顶级分析仪

CryoSAS 是一款低温硅材料分析仪，可用于太阳能和电子硅行业的超高灵敏度质量控制。它可以同时定量分析碳、氧以及浅层杂质（如硼、磷、砷等）。

根据ASTM/SEMI标准，CryoSAS操作简便，无需液氦等制冷剂。相比于传统的湿化学分析法，CryoSAS更为快速、灵敏，并且对样品没有任何损害。

根据ASTM/SEMI MF1389标准，低温近红外光致发光（PL）实验可以用于单晶硅中浅层杂质（如硼、磷等）的定量分析。

我们将高灵敏度VERTEX 80 傅立叶变换光谱仪和专为硅材料低温光致发光实验设计的低温恒温器相结合，实现了低检出限小于1ppta的超高检出水平。

根据 ASTM/SEMI MF1389标准，定量分析单晶硅中的硼、磷和铝含量。用CVD方法制备的TCS（三氯硅烷）硅外延层也可进行PL实验，以实现TCS的质量控制。
多种附加功能，如自动控制恒温器制冷、专用的PL硅材料QC软件、标准建模样品和第二个激发激光。

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