一、台阶样板
该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。
台阶高度范围:10nm~100μm;
台阶区域表面粗糙度Sa:优于5.0nm;
台阶区域均匀性:优于15nm;
台阶样片尺寸:10mm×10mm。
序号 | 台阶标称高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μm |
10 | 5μm |
11 | 10μm |
12 | 20μm |
13 | 50μm |
14 | 100μm |
二、光栅样板
该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。
样片类型:一维光栅、二维栅格
区域均匀性:优于15nm;
尺寸范围:100nm~10μm(一维光栅)、2μm~10μm(二维栅格)
线条直线度:优于10nm;
类型 | 具体结构 |
复合型光栅样板 | 包含一维结构:100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm; 二维结构:2μm、5μm、10μm |
微米级光栅样板 | 包含一维、二维光栅结构 结构尺寸:2μm、5μm、10μm |
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