RIE反应离子刻蚀机RIE-1701_价格-北京锐峰先科技术有限公司

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RIE反应离子刻蚀机 Reactive Ion Etching(RIE)

March RIE 反应离子刻蚀机

RIE 各项异性&各向同性等离子刻蚀系统

Nordson MARCH's RIE-1701 等离子系统是设计用于先进的刻蚀应用，如：失效分析时去除夹层膜材，解封装和去除介电材料，氧化物、氮化物、聚酰亚胺、硅、金属、用于MEMS/LED/IC 器件生产的III-V 和 II-VI 材料的刻蚀，环氧去除，光刻胶剥除和预处理。

紧凑、桌面型配置、负担的起的反应离子刻蚀(RIE) 系统。

Nordson MARCH 的 RIE-1701 各向异性反应离子刻蚀等离子系统是完全自包含的，仅需要较小的桌面空间。等离子刻蚀底盘，也同样是作为一个集成的安全屏蔽罩，内部包括了等离子腔体、控制电子、13.56MHz的射频发生器，以及自动调谐网络（仅仅是真空泵是位于系统之外的）。通过一个互锁门或者容易拆除的面板可以方便的进行维护。

等离子腔体是由高质量阳极化铝和优越耐久性的陶瓷治具组成的。等离子腔体能够配置6"或者8"电源电极来适应广泛的晶圆尺寸、IC封装和其它元件。

高性能等离子刻蚀用于失效分析或MEMs、LED器件生产。

等离子刻蚀能够适应广泛的工艺气体，包括：氩气、氧气、氢气/混合气体、氦气、CF4 和 SF6。标准配置为2路质量流量控制器，用于气体控制，还具有两路可选气体（一共4路）。

RIE 各项异性&各向同性等离子刻蚀系统的特点和优势

触摸屏控制，图形用户界面提供实时工艺数据和反馈

13.56 MHz 射频发射器和自动调谐网络提供良好的工艺重复性

温度控制回路集成在等离子腔体内，使得精确控制成为可能

可选的涡轮分子泵组件和蝶形阀压力控制

北京锐峰先科技术有限公司为您提供RIE反应离子刻蚀机RIE-1701，nullRIE-1701产地为美国，属于其他，除了RIE反应离子刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,锐峰先科客服电话，售前、售后均可联系。

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企业名称: 北京锐峰先科技术有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91110108753330805F
成立日期: 2003年08月08日
注册资本: 200万元
经营范围: 技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、技术推广;计算机技术培训;租赁机械设备(不含汽车租赁):销售机械设备、电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备;销售医疗器械II类;产品设计;维修仪器仪表;维修计算机;计算机系统服务;基础软件服务;应用软件服务;软件开发;软件资询;运输代理服务;货物进出口;技术进出口;自然科学研究与试验发展;工程和技术研究与试验发展;农业科学研究与试验发展;医学研究与试验发展;企业管理;投资管理;资产管理;财务咨询(不得开展审计、验资、查帐、评估、会计咨询、代理记账等需经专项审批的业务,不得出具相应的审计报告、验资报告、查帐报告、评估报告等文字材料);经济贸易咨询;投资咨询;企业管理咨询;教育咨询;文化咨询;承办展览展示活动。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

型号：	RIE-1701
产地：	美国
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