型号: | Sonoscan AW |
产地: | 美国 |
品牌: | Sonoscan |
评分: |
|
Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜
AW系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。该AW系列可以检测两晶圆间空隙直径只有5微米以及晶圆分层薄至200埃的间隙。具有两个或更多的扫描头,分段站和干燥站时,AW被设计为有效地扫描晶圆并同时进行干燥。
AW 系列-AW200 & AW300
精选特色:
与SECS-II/GEM/SEMI300毫米标准兼容
非浸水瀑布式探头
先进的图像分析软件
高精度机器手可以提高产能
用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及开放式晶圆盒的BOLTS标准装载接口
自供水及真空组件的选项
相关产品
DAGE STELLAR 4000 焊接强度测试仪
AMAC 21 手动元件组装系统
Amadyne Fab1 自动装配贴片机
HB70 Die Bonder
TPT HB100 Wire Bonder
Dage XD7500VR Jade FP X光检查机
DAGE XD7800NT Ruby XL X光检查机
DAGE Quadra 3 X光检查机
DAGE 4800 焊接强度测试仪
Dage4000推拉力剪切力测试系统
RKD RA-880激光开封机
RKD ELITE ETCH自动双酸开封机
RKD 酸开封机
DAGE Quadra 5 X光检查机
DAGE Quadra 系列X光检查机
关注
拨打电话
留言咨询