型号: | Park NX20 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Park 原子力 |
评分: |
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特点:
◆介质和基底的表面粗糙度测量
◆缺陷成像和分析
◆高分辨率电子扫描模式
◆3D结构边墙测量
◆精确的原子力显微镜形貌和低噪音Z探测器
规格参数:
型号 | Park NX20 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 100um*100um(可选10um*10um或50um*50um) |
Z扫描仪 | 15um(可选30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm) | |
光学 | 物镜 | 10X(20X可选) |
电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
DAC | 12个频道 2个高速DAC频道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
样品台 | XY平台行程 | 150mm x 150mm;200mm X 200mm |
Z平台行程 | 25mm | |
聚焦平台行程 | 15mm | |
样品尺寸 | 高达150mm或直径200mm最多厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 820mm(长)X920mm(宽)X1280mm(高) |
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