工艺气体质谱分析法中的真空解决方案

2016-05-03 11:31  下载量:5

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真空解决方案的优势总结: ■设计紧凑,因而易于实现系统集成 ■使用寿命长 ■稳健结构设计而实现的高度可靠性 ■所有气体均具有高抽速和压缩 ■安全、洁净、低维护 ■便于维护

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