资料摘要
资料下载许多前瞻性科技技术，例如粒子加速器、核聚变反应堆或 EUV 光刻技术都必须依赖高真空或超高真空。为了制造出这种持续的真空环境，并且维持在一定的真空度下，我们需要的不仅仅是能满足应用和技术规格的泵。同样重要的是需要在真空环境下对表面释放出的残余杂质进行精确的气体分析的仪器。然而，无论是设备的运营方，还是真空设备的制造商都需要仔细研究产品的特性、材料、及在真空环境中的表面处理和清洁方法。 Pfeiffer Vacuum 丰富多样的产品组合为此类系统提供所有必要组件。Pfeiffer Vacuum 作为完整解决方案供应商为客户定制完美的残余气体分析设备。 在残余气体分析中真空系统用于： ■ 为高真空或超高真空选择合适的材料 ■ 检查电子构件、开关组和电缆在真空中的表现 ■ 评选适合的表面处理、镀膜合金材料 ■ 评估部件的清洗程序 ■ 检查真空烘烤程序 ■ 工艺控制 Pfeiffer Vacuum 系统不仅为高真空和超高真空设备的运行方，还为真空部件的制造商提供优秀的残余气体分析解决方案。Pfeiffer Vacuum 也在本部使用残余气体分析，以便在开发和生产中测试其产品、表面处理和清洗程序的出气情况。以此确保 Pfeiffer Vacuum 产品适用于高真空和超高真空环境。此外，还可以检查涡轮分子泵的电机和前级真空部件的脱气状况。
文献贡献者
HiCube涡轮分子泵组宣传资料
简介：HiCube涡轮分子泵组采用模块化设计。您可以分别选择适合的涡轮分子泵和前级泵。这种方式可以满足所有高真空和超高真空应用的要求。
普发真空专业知识手册
简介：真空的通俗定义是指空间中的压力低于大气压力时所产生的状态。这些压力可通过均匀分布在该空间的气体或蒸汽来产生。 真空的标准定义是“气体密度在容器中的压力低于周围环境大气压或者低于300mbar。即：低于地球表面的大气压力。” 标准定义中规定的 300 mbar 的意义在考虑到气压公式时就变得显而易见了。由于一定区域中气柱重量的减少，气压随高度增加而下降。 在技术应用的范围内，压力并不是绝对的，而是相对于大气压力。低于大气压的压力范围表示为负数或百分比。 这方面的例子有气缸上的压力计、减压器或真空起重工具或真空输送系统的使用。 （如需了解更多请下载资料附件）
普发真空服务解决方案
简介：长期的真空组件使用寿命，加上较低的停机时间，是客户对我们的明确期望。普发真空能满足您对优质产品和卓越服务的需要。 普发真空中很早就开始了服务培训。我们的综合培训项目，包括应用培训和实践产品培训，使你能够使用最专业的知识来防止可怕的"最糟糕的情况"。与此同时，你将向我们学习如何完善你处理真空组件的方法。 为了确保您的系统在整个生命周期中能够满足最高的消耗，来自普发真空的产品必须始终由经过专业培训的专业人员使用真正的部件和工具来维护和修复。 普发真空代表了以客户为导向的真空解决方案，其具有高质量和高可靠性。在过去的30年里，我们一直都在坚持这个观念，比如涡轮分子泵的改变可以体现这一点。
普发真空罗茨泵产品手册
简介：OktaLine系列罗茨泵可以通过不同的抽速和版本，为客户定制满足需求的完美解决方案。该类泵需要配备一台前级泵，既能满足工艺的需求，也符合气流的运动。 产品优势 •完整的罗茨泵产品系列具有高度的灵活性，最大程度满足工艺需求 •具有高压缩比实现快速排气 •磁耦合驱动（选配），免维护，运行可靠，无故障运行时间长 •结合变频器作业（选配），实现工艺适应性和节能 •采用风冷和磁耦合（选配），降低运行成本 应用领域（罗茨泵非常适用于中、低真空的各类应用） 镀膜和半导体行业、化学和过程工艺、研发 OktaLine G系列气冷罗茨泵提供了更高程度的灵活性。它们是常规罗茨泵中的一个特殊型号，对于清除不能与废水或废油相接触的介质，它们是最理想的选择。该类真空泵尤其适用于高压差和高压缩比的情况下工作。在没有前级泵的情况下，通过气体循环冷却的罗茨泵照样可以正常运转。 针对易爆气体的排空和易爆环境下的工艺流程，我们开发了 OktaLine ATEX，它是基于风冷罗茨泵的概念设计的。通过一系列的测试和标准磁耦合配置，该系列产品符合各项严格的防爆要求。 配备其它类型的罗茨泵或相应的前级泵，罗茨泵可完全满足各类应用需求。普发真空拥有50年的客户方案定制经验，是业界领先的真空解决方案供应商。
普发真空产品概述
简介：真空解决方案 所谓提供解决方案就需要理解我们的客户。客户所需要的真空解决方案必须要更稳定、更可靠，维护成本更低，能源消耗和资源消耗更少。秉承着这样的理念，在中国，普发真空致力于传递真空技术和国外最先进的真空工艺并和我们的客户共同开发真空解决方案。在半导体、镀膜、研发、分析仪器和工业领域我们积累了丰富的经验。帮助国内的客户提高生产工艺和产品质量。
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