抽空曲线及其信息值——显示和解释不同真空范围内的工艺

2018/02/02   下载量: 3

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参考标准 抽空曲线

在设计和操作真空系统时,抽空曲线是常用的控制手段。通过它们可以推导出系统中的任何问题,并且可以评估正确的泵性能。 抽空曲线描述真空系统中随时间变化的压力下降趋势。在图解中,X 轴代表时间,Y 轴代表压力。在已知真空室和泵的几何结构情况下,可以计算出抽空曲线。计算和测量的抽空曲线之间的任何偏差通常可以提供真空系统中有关问题的信息。这也适用于长时间使用所测量的曲线和参考曲线之间的对比。

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低真空范围内的泵曲线:显示连接、解释和应用

参考曲线可以在系统正常运行且启动后没有出现任何问题的情况下进行测量。在这些条件下,在抽空过程中,依据时间的变化对压降进行测量。测量可以通过使用系统控制手动进行,或使用普发真空提供的真空计软件包。


高真空范围内的抽空曲线:

即使真空被定义为空的空间,这并不意味着高真空系统中不存在任何气体。即便是在低压下,水蒸气仍能在很大程度上影响系统可实现的底压。水分可从真空室表面释气。释气率在很大程度上取决于表面材质,如金属、玻璃或塑料。除了材质,表面质量也可对释气率产生重大影响。


绘制低真空和高真空下的参考曲线

根据表格中的数据来源,有时可以达到良好的相关性。然而,在文献中,使用不锈钢的历史已达 30 多年。较大的变化是由于不同的合金、预处理、表面精加工及烘烤而产生的。

从我们带有亚克力玻璃门的型号中,我们马上就可以看到与文献中所给数据的显著偏差。因此,我们建议在测量数据的基础上进行定标,甚至是选择新泵。这意味着,我们建议分别绘制低真空和高真空范围的参考曲线。

作为经验法则,可以说对于气体总流量的构成,金属的释气率相对较低,而塑料材质的释气率则相对高很多。当然这一法则也有例外情况,如锌或黄铜合金,它们也表现出非常高的释气率。弹性体的释气率会受到化学成分和添加剂的影响。机械预处理或热预处理可极大地降低释气率。因此,在真空兼容材料上进行投资是非常划算的。


在选择泵之前:分析抽空曲线

在投资新的泵或真空室之前,必须分析抽空曲线。参考抽空曲线和测量的抽空曲线之间的偏差往往使问题一眼就可被看出。对抽空曲线的详细分析可以更好地理解所涉及的过程,并提供解决问题的方法。

当水分渗入到系统中后,所用部件的外部干燥或对真空室进行清洁,比起引进较大的泵,往往能够更好地实现抽空时间的目标值。特别是,在高真空环境下的腔室表面处理是可实现极限压力的最重要参数之一。

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