艾里卡特 - MCV系列质量流量控制器(真空型)- 参数表

2014-06-10 11:06  下载量:0

资料摘要

资料下载

Alicat的MCV系列设计用于高真空行业中精确控制气体的质量流量、体积流量和压力。高速比例调节阀内置于控制器本体后端,使符合SEMI国际标准。其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为1×10-9 atm-scc/s的正向切断,防止设定值为零时可能产生的污染。MCV系列亦采用Alicat专利的层流压差技术,确保了在大流量情况仍然是线性流动,从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书。

资料下载

文献贡献者

相关资料 更多

相关产品

当前位置: 艾里卡特 资料 艾里卡特 - MCV系列质量流量控制器(真空型)- 参数表

关注

拨打电话

留言咨询