艾里卡特 - MCD系列双向质量流量控制器 - 参数表

2014-06-10 11:09  下载量:2

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Alicat 隆重推出全球首款双向质量流量控制器,可正向或反向控制流经气体的流量,或用于控制密闭系统内的流量而无需额外排气阀。 - 可控制从-0.5 ~ +0.5 SCCM 到-3000 ~ +3000 SLPM的满量程的任何流量,量程可调比为200:1 - 精度&重复性:±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注:该处F.S.为双向满量程之和) - 控制响应时间:<100毫秒 - 最大入口压力:145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW) - 2.1″ 英寸单色数字显示屏(可选配TFT背光彩色显示屏)

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