型号: | SPIN-4000A Developer |
产地: | 韩国 |
品牌: | Midas |
评分: |
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* Touch panel control System 触摸屏控制系统
1) Spin speed : 100~7000rpm ±1% (@ No load )
转速:100~7000rpm ±1% (空载)
2) Programmable Coating System : 20steps, 20 Recipes (Save & load)
程序控制系统: 20步,20个菜单 (存储和调用)
3) Time : 0.1~999.9sec (Programmable) 时间控制:0.1~999.9sec
4) Bowl size : 14 inch 碗腔直径:14英寸
5) Sample size : piece ~ 8 inch wafer 样品尺寸:小片—8英寸
6) Vacuum chuck : PE 1ea 真空吸盘:PE材料,1个
7) Motor : DC Servo Motor 直流伺服马达
8) External : STS Main Body STS主机材质
9) Oil-less Vacuum Pump 1ea (Include) 含无油真空泵
10) Acceleration/Deceleration rates : Variable Time (0.1sec step)
加速度:0.1sec每步
11) Cover Inter-Lock 腔盖自锁
12) Direct to Exhaust & Drain Bottle 排泄废液收集瓶
13) Dispenser Arm ,Nozzle & 2ℓ Bottle in Stainless Steel Chemical Supply Pressurizing Tank 自动注射装置:操作杆,喷嘴,2升注液瓶,不锈钢压力罐
1 nozzle : Developer 第一路喷头,用于显影液
2 nozzle : D.I Water 第二路喷头,用于去离子水
3 nozzle : N2 第三路喷头,用于氮气
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