ICP-反应离子刻蚀机KVET_价格-科睿设备有限公司

产品详情

蚀刻材料金属和电介质材料蚀刻

基板最大尺寸 8英寸

产品产量 1片/次

源（气）: 注入式喷淋头式

卡盘单元卡盘通过冷却器冷却

基板背面He冷却

带夹具的机械晶片夹紧

电源偏置：RF功率Max.2kW@13.56MHz

ICP源：射频功率Max.3kW@13.56MHz

极限压力<5.0E-6Torr（TMP和干式泵）

压力控制摆阀，baratron压力计

负载锁定室极限压力：<5.0E-3Torr（干式泵或旋转泵）

气体输送SF6、CHF3、CF4、C4F8、BCl3、Cl2O2、Ar、He、，…

控制PC控制（UPRO软件）

可选静电卡盘，盒式装载锁

系统尺寸（宽*深*高）2050mm X 800mm X 1600mm

科睿设备有限公司为您提供ICP-反应离子刻蚀机KVET，nullKVET产地为韩国，属于进口等离子体刻蚀设备，除了ICP-反应离子刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供环境控制型开尔文探针系统,科睿设备有限公司客服电话400-860-5168转3281，售前、售后均可联系。

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 科睿设备有限公司
企业类型: 私人股份有限公司
信用代码: 61153274-000-03-23-9
成立日期: 2023年02月01日
注册资本: 100
经营范围: 科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )自2013年成立以来，为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大用户提供最先进的仪器、设备，最的专业技术、服务和最真诚的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，更好的将国外高科技技术融入客户需求的解决方案中，见证祖国科技水平的提升，与祖国科技共同飞速成长。