型号: | UNIXX HTp20 |
产地: | 德国 |
品牌: | Osiris |
评分: |
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n产品简介
UNIXX HTp20型热板是一款手动桌面型烘焙系统,采用手动PID控制器和定时器开关可确保高的温度控制精度。用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
n产品特色
÷ 加热板模块(最高可达 300°C)
÷ 气动驱动支撑pin升降
÷ 支撑pin材料:不锈钢,尖端采用 PEEK (最高 250°C)
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 集成排烟装置
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成1x PID 控制器,用于在高测量时进行温度控制
÷ 集成1x 定时器开关
n技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度区间: 最大可达 300°C*, 以 1°C 步进可调
÷ 温度精度: 100°C 时 < ±1°C
÷ 提升销(一套): ?50 mm (?2”) 最大可达 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板表面: 由硬质阳极氧化铝制成
÷ 加热板盖: 由微抛光不锈钢制成
÷ 控制器单元: 1x PID控制器, 1x 时间开关
÷ Pin顶部 采用PEEK 材料最高温度 250°C
n可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统(六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆)
÷ 烘焙距离可调模组
÷ 真空泵
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