| 型号： | UNIXX HTe20 |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | Osiris |
| 评分： |
|
n产品简介
UNIXX HTe20型热板是一款桌面型半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
n产品特色
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降（不同停止的速度和步数）
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
n主要技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: ?50 mm (?2”) ,最大可达 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
n可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统（六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆）
÷ 600℃热板
÷ 真空泵
相关产品
Sentronics全自动晶圆厚度系统、翘曲度测量系统
Sentronics 晶圆厚度系统、翘曲度测量系统
Sentronics全自动晶圆厚度系统、翘曲度测量仪
荷兰Fastmicro颗粒沉降扫描仪/超净间颗粒检测仪
荷兰Fastmicro表面颗粒度检测系统
荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测系统
荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒度测量仪
ST500型三维表面轮廓仪
NANOVEA公司ST400型光学轮廓仪
NANOVEA公司PS50型三维表面形貌仪
JR25便携式三维表面形貌仪
CB500纳米划痕仪
CB500型纳米压痕仪
英国Korvus公司磁控溅射/热蒸发/电子束镀膜系统（PVD）
CTS AP200型CMP化学机械抛光机
工商信息
信息已认证
关注
拨打电话
留言咨询
