GCIB团簇离子尺寸的调控

2024-07-23 14:32  下载量:0

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Ar-GCIB团簇离子尺寸测量配件作为优化GCIB溅射能力的有效工具,能够实现溅射损伤和溅射速率之间的平衡,为新型纳米材料和复杂混合样品的深度分析提供了强大工具。

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