中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所新增PHI俄歇电子能谱仪

爱发科费恩斯(南京)仪器有限公司

2020/04/18 14:55

近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的纳米真空互联实验站(Nano-X)完成了俄歇电子能谱仪(PHI 710 Auger NanoProbe)安装调试，这是继PHI XPS之后，Nano-X从ULVAC-PHI公司采购的第二套大型科研仪器。PHI 710俄歇电子能谱仪作为重要的表面分析设备，将与Nano-X的超高真空互联管道对接，进一步完善了Nano-X现有的表面分析设备体系(XPS、TOF-SIMS、SEM、AFM、STM等)，将助力推动半导体、微电子器件和冶金等领域研究的发展。

AES功能介绍

俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy，AES)是利用电子束电离激发原子内层电子，探测退激发过程出射的俄歇电子，获得样品表面组分和化学性质的一种表面分析方法。AES不仅具有表面灵敏的特性，而且具有纳米级的空间分辨能力，因此广泛应用于半导体器件、微电子器件和冶金等科学研究。

PHI 710 Auger NanoProbe的主要功能包括SEM成像、元素成分半定量/化学态分析、一维/二维元素分布、深度剖析及EBSD分析。该设备采用热场发射电子枪，具有稳定细小的电子束斑，SEM成像分辨率≤3纳米，AES成像分辨率≤8纳米；采用CMA同轴分析器，能全方位收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点；能量分辨率0.5%~0.1%连续可调，亦能实现高灵敏度和高传输率；采用Ar离子枪实现样品表面清洁、荷电中和以及成分深度剖析；配备电子散射衍射探测器（EBSD），可提供晶体结构和晶格取向的分析。

PHI与高德

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Nano-X介绍

纳米真空互联实验站(Nano-X)是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。纳米真空互联实验站通过超高真空管道将各功能设备相互连接，一方面解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题，另一方面为微观原子尺度新材料、器件的创新和基于原子级别有序可控的创新思维模式提供了可实现的平台。本实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。纳米真空互联实验站是材料科学、环境科学、物理学、化学、信息科学等众多学科研究中不可替代的先进手段和综合研究平台，也是微电子、新材料等先进产业技术研发的重要手段。

PHI公司介绍

PHI公司(Physical Electronics)前身为美国PE(Perkin Elmer)公司专业表面分析仪器部门，于2003年被日本真空ULVAC收购，成立ULVAC-PHI。ULVAC-PHI作为全球最专业的表面分析仪器制造商，拥有60余年的表面分析设备研发和生产历史，专注于研发生产表面分析仪器，其产品包括光电子能谱仪(XPS)，俄歇电子能谱仪(AES)，飞行时间二次离子质谱仪(ToF-SIMS)和动态二次离子质谱仪(D-SIMS)。PHI CHINA致力于为用户提供先进技术和优质服务，与大家携手推动表面分析技术的应用和发展。

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