TOF-SIMS(Time of Flight Secondary lon Mass Spectrometry)是由一次脉冲离子束轰击样品表面所产生的二次离子，经飞行时间分析器分析二次离子到达探测器的时间，从而得知样品表面成份的分析技术。其表面灵敏度高，仅会提供表面几个原子层的分子、元素及其同位素的组成信息。所有元素和同位素，包括氢都可以使用飞行时间二次离子质谱分析。
最新一代的PHI nanoTOF3具有全新的外观设计，更小的占地面积和更低的能耗。并且配置新型铋源LMIG团簇离子枪，具有更高的空间分辨率。
KEY TECHNOLOGIES
全新外观，时尚设计，设备占地面积减少，更低功耗
获得专利的平行成像MS/MS质谱仪
获得专利的一键双束中和技术
可靠的自动化和远程操作
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