资料摘要
资料下载半导体生产工艺分析: 在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。 客户提出要求: 1.用途:提高光刻胶与硅片的黏附性。 2.参数要求:使用温度130度,真空达到负压即可,内胆尺寸:400宽*400深*300高,外形尺寸(没有要求),附带两块隔架, 通过以上参数给出的解决方案如下: 电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2% 输入功率:3000W 控温范围:室温+10℃-250℃ 温度分辨率:0.1℃ 温度波动度:±0.5℃ 达到真空度:133Pa 容积:90L 工作室尺寸(mm):450*450*450 外形尺寸(mm):615*615*900 载物托架:2块 时间单位:分钟 HMDS真空烘箱的原理: HMDS预处理系统通过对真空干燥箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。 HMDS真空烘箱一般工作流程: 首先确定工作温度。典型的预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充人氮气,充到达到某低真空度后,冉次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。HMDS与硅片反应机理如图:首先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚,消除氢键作,从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。 尾气排放等:多余的HMDS蒸汽(尾气)将由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。 以上为详细方案及操作流程。 部分客户名单例举: 海亚明灯泡厂 上海精瓷照明电器有限公司 GE(上海)有限公司 宁波亚茂照明电器有限公司 飞利浦(上海)有限公司 嘉善三英灯饰有限公司 HUMGINE产品: HMDS真空烘箱、洁净烘箱、高低温试验箱、高低温交变湿热试验箱、高低温交变试验箱、环境试验箱、高温试验箱、无尘烘箱、汽车轮胎模具烘箱
什么是防爆真空烘箱呢?
简介:什么是防爆真空烘箱 环竞防爆真空外壳采用冷轧钢板喷塑,内胆均采用304不锈钢,其四周用型钢加 固保证其耐压性,箱门为方型双层防弹玻璃观察窗,门封条采用耐高温橡胶条, 容易拆装更换,密封性极好。 夹层采用超细玻璃棉加厚填充,防温性好,加热管置于箱体两侧和底部,加热均 匀,控制面板置于箱体一侧,装有温控仪、真空表及本质安全型电源开关。 电磁阀耐高温腐蚀,压力管路阀门及附件均为不锈钢材质。真空表采用电接点不 锈钢压力表,其上下限控制接点由本安型固态继电器控制,绝对不会产生火花, 控压灵敏精确。 开机时打开电源开关,设定温度及压力,真空烘箱就可长期自动恒定在用户所需 温度及压力点上,长期稳定运行无人值守。 温控仪采用微电脑智能温控仪,具有测温设定数字显示,清晰醒目,还具有延时 功率抑制和PID自整定及超温报警自动切断电源功能,控温精度高,运行稳定可靠。 另外真空烘箱运行采用,先抽真空当压力达到设定真空度后再加热的方法,其优点防止加热箱内空气膨胀,也可以在抽完真空后向箱内充入惰性气体,爆破箱门防 止热空气进入压力表保护电磁阀及真空泵,确保安全,减少故障。
电热恒温鼓风干燥箱和恒温箱二种构造和运用办法
简介: 电热恒温鼓风干燥箱和恒温箱二种构造和运用办法 电热恒温鼓风干燥箱用来物件的干燥和干热灭鼠,恒温箱用来微生物和生物资料的培养。 这两种仪器的构造和运用办法类似,干燥箱的运用量度范畴为50~250℃,鼓风式电热以升温。恒温箱的最高任务量度为60℃。 1.运用办法 (1)将温度表拔出座内正在箱顶放气调理器中部。 (2)把电源插销拔出电源插座。 (3)将电热丝分批扫尾转到1或者2地位上视所需量度而定,这时可封闭吹风机驱使暖气氛对于流。电热丝分批扫尾封闭后,白色批示灯亮。 (4)留意视察温度表。当温度表量度将要到达需求量度时,调理主动控温按钮,使绿色批示灯正好天亮,非常钟后再视察温度表和批示灯,假如温度表上所指量度超越需求,而白色批示灯仍亮,则将主动控温按钮略向反时针位置缭绕,直调 到量度恒定正在请求的量度上,批示灯轮流显现白色和绿色为止。主动恒温器按钮正在箱内反面左上方。它的刻度板没有能做为量度规范批示,只能做为调理用的标志。 (5)正在恒温进程中,如没有需求三组电热丝同声发烧时,可仅封闭一组电热丝。 封闭组数越多,量度下降越快。 (6)任务定然工夫后,可封闭顶板地方的放气调理器将水分排出,也能够封闭吹风机。 (7)运用终了后将电热丝分批电门全副开放,并将主动恒温器的按钮沿反时针位置旋至零位。 (8)将电源插销拔下。
真空干燥箱的量具读数与真空室里的玻棒温度表读数发生差别的缘由
简介: 真空干燥箱的量具读数与真空室里的玻棒温度表读数发生差别的缘由 正常的电热真空干燥箱都采纳先加热真空室壁面、再由壁面临作件进行辐 照加热的形式。正在这种形式下,控温量具的温度传感器能够安排正在真空露 天壁。传感器能够同声承受对于流、传播、和辐照热。而在于真空室里的玻璃 棒温度表只能承受辐照热,更因为玻璃棒黑度使不得够到达1,相等一全体辐照 热被折光了,因而玻璃棒温度表体现的温度值就确定低于量具的温度读数。正常 讲,200℃工况时量具的温度读数与玻璃棒温度表的读数两者相差30℃以内是畸 形的。 假如控温量具的温度传感器安排正在真空室内,玻璃棒温度表的温度值与量具 的温度读数之间的差别能够恰当减少,但使不得够消弭,而真空室的密封牢靠性增 多了一度能够不牢靠环节。假如从操作适用立场思忖不指望看到某个差别,能够采 纳控温量具特部分显现改正性能处理。
区分电热恒温鼓风干燥箱的品质是非
简介: 区分电热恒温鼓风干燥箱的品质是非 从构造上综合,正常的电热恒温鼓风干燥箱壳子都是采纳热轧誊写钢版打 造,然而从薄厚上将,差异却很大。因为真空干燥箱外面的真空条件,为预防 空气压压坏箱内,其壳子薄厚要较鼓风干燥箱大些许,正常是取舍誊写钢版越 厚品质越好,运用寿数也越长。 为便于视察,正在干燥箱的箱门都设有玻璃窗, 正常有钢化玻璃和镶嵌门上的一般玻璃。 眼前国际干燥箱的保温材料主要是以纤维棉为主,多数采纳聚氨酯,上面谈 谈两种材料的相反特性。从保温成效来讲,聚氨酯的耐温与绝热成效要好于纤维 棉,正常聚氨酯能够使箱内内的高温正在大多少个时辰内维持稳固,不值一提的 是,聚氨酯的高效绝热功能,可无效地预防箱内外温渡过高热伤操纵员。纤维棉 材料的干燥箱正在高温时,只能靠温度控制器不停的控制与调理,维持箱体温度 的稳固,那样大大增多了风机与控制器的任务强度,从而升高了干燥箱的运用寿 数。再过去期保护来讲,因为聚氨酯是整个注塑到箱内内的,前期培修时尤其烦 琐,培修前需求将聚氨酯全副掏进去,交好后再注塑出来。而纤维棉决不会这样 费事,操作容易。 最初从市面上讲,纤维棉的价钱无比廉价,且可满意大全体的 保温请求,使用宽泛,咱们提议:纤维棉越细,薄厚越大,保温品质越高。干燥 箱的密封正常都是采纳抗老化的硅橡胶,密封成效很好。正在重复加热功能上, 风机的取舍至关主要,主要有外来和出口两种风机。
制药机械行业中干燥设备的应用
简介:制药机械行业中干燥设备的应用 制药机械行业中干燥设备的应用 制药行业干燥器的类型较多,大致有真空干燥箱,保证药品生产过程的合理、产品均一、无积料、可以满足在线清洗要求等,用于无菌原料药上的干燥装置还要满足在线灭菌的要求。 真空干燥箱起源比较早,原理是将干燥箱用加热板分层,将加热板中通入热水或低压蒸汽,作为一种介质,然后将放有需要干燥的药品料盘放在干燥板上,关上箱门,用真空泵将箱被空气抽出,形成真空环境。加热板在加热介质的循环流动中将药品加热到指定温度,水分就随之开始蒸发并随抽真空逐渐抽走。这种干燥设备易于控制,干燥过程中药品不易被污染,适用与药品干燥和包材灭菌上。 真空干燥箱用于大产量成批生产,适用于透气性较好的颗粒物料的干燥,成品干燥均匀,在我国维生素C和青霉素行业应用很广。由于此设备相对密闭性较差,不能很好地安排在线清洗和在线灭菌,因此只适合于非无菌原料药和药用中间体的干燥。 气流干燥装置适用于易脱水的颗粒、粉末状物料,可迅速除去物料水分(主要是表面水分)。在气流干燥中,由于物料在干燥器内停留时间短,使干燥成品的品质得到最佳的控制。湿物料通过加料器与热气流充分混合,在干燥的同时在风力吸引下进入干燥管进一步均匀干燥。风力无法吸引的湿重颗粒在干燥器内继续被撞击、破碎、干燥,直到能被风吸起进入干燥管,干燥管末端为旋风分离器。此设备在制药行业主要用于土霉素和部分保健品的生产。 以上所述的只是制药行业干燥设置的一部分,随之制药行业的迅速发展,制药机械行业也紧跟其脚步。有发展就会有竞争,制药企业在选择制药机械的时候要从多方面去考虑,否则将会顾此失彼。
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