真空度(气压)控制:上游模式和下游模式的特点以及新技术

2021-01-14 21:46  下载量:9

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本文详细介绍了真空系统中上游和下游控制模式的特点以及在应用中存在的问题,并介绍了上下游模式同时使用的双向控制新技术,新技术可有效发挥上下游控制模式的优点和抑制缺点。

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