资料摘要
资料下载极紫外线 (EUV) 辐射包括在 X 射线和深紫外线 (DUV) 光谱区域之间约 10nm 至 100nm 的波长带。随着极紫外线领域（包括光刻技术、纳米级成像和光谱学等）中对于许多应用的需求日趋紧迫，最近均已着手开发紧凑型极紫外线光源。这一努力为几种极紫外线光源带来了商业可用性.
文献贡献者
大型非球面：实现高功率光学系统
简介：在光学应用中，更高功率激光器的发展正在推动光学镀膜技术的极限。然而，处理更高功率光束的另一种解决方案是增加光束直径，这需要更大的光学元件。这降低了光学元件上的功率或能量密度，降低了激光诱导损伤的可能性。需要沿着光束路径进一步延伸的大光束扩展光学器件和聚焦透镜。光收集系统是增加光学器件尺寸的另一个驱动因素。更多的光可以被具有更大表面积的光学器件收集。
确定连续激光器损伤阈值的挑战
简介：使用环境对连续波（CW）激光损伤阈值的影响比对脉冲激光系统的影响更大，因此CW激光系统用户需要更加谨慎。CW激光器的损伤阈值通常规定为在给定波长下测量的线性功率密度。用户不应过于依赖光学元件的指定CW损伤阈值，而不首先考虑可能改变该值的许多参数：激光功率、光束直径和环境测试条件等。
关于衍射光栅
简介：衍射光栅是各种应用中的关键光学元件，包括光谱仪、其他分析仪器、电信和激光系统。光栅包含一个微观和周期性的凹槽结构，通过衍射将入射光分成多个光束路径，使不同波长的光在不同方向传播。
适用于红外 (IR) 应用的正确材料
简介：随着 IR 应用需求的发展和技术进步，制造商已开始使用 IR 材料设计平面光学元件（例如 (i.e. 窗口片, 反射镜, 偏振片, 分光镜, 棱镜), 球面透镜 (例如平凹/平凸透镜、双凹/双凸透镜、弯月透镜), 非球面透镜 (抛物面、双曲面、混合透镜), 消色差透镜, 以及 装配组件 (例如成像镜头、扩束器、目镜、物镜). 这些 IR 材料或基底的物理特性各不相同。因此，了解每种材料的优点可为任何 IR 应用选择正确的材料.
远心度优点
简介：快速执行可重复、高准确性测量的能力对最大程度地提高许多机器视觉系统的性能至关重要。对于这类系统，远心镜头能够尽可能获得最高的准确性。本部分将讨论远心镜头的独特性能特征，以及远心度将如何影响系统性能。
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