筱晓光子用于晶圆的纵向/极向克尔效应量测系统 BH-618SK/ BH-810CPC25MLD

用于晶圆的纵向/极向克尔效应量测系统 BH-618SK/ BH-810CPC25

参考价：¥5万 - 10万

型号：

MLD

产地：

日本

品牌：

筱晓光子

评分：

产品详情

一, 基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列

基于激光的观测系统，专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave（SAW）和体声波 Bulk Acoustic Wave（BAW），如SAW滤波器（Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT）和薄膜体声波谐振器（FBAR）

基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列,基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列

产品特点

适用于不同频率下物理声波传播的分析

短时间广域观测

通用参数

图像 FFT & IFFT 处理

观察示例

IDT

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FBAR

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参数

振动检测方法	基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz)
振动观察法	用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动)
观测光源	二极管激光器(波长:650nm典型)，照明LED
可用物镜	×20、×50、×100 物镜
可观察到的频率	500MHz ～ 6GHz (Typ.)
驱动信号输入范围*1	500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2
Max. 可分析区域	25mm × 25mm
容许工作量	Max. 8英寸晶圆片
样品台	电动X-Y型载物台
主要软件功能	基于采样阶段控制的预设区域扫描观测
	2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie)
	二维FFT⇔FFT图象处理
	基于FFT结果的特定振动共振模式滤波
	面外轴倾角校正
	基于预设频率表的连续数据采集
构造	主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件
1 提供高频探测装置。(手动探测) 2 提供输入信号放大器。

二, 用于晶圆的纵向克尔效应量测系统 BH-618SK

用于8英寸或12英寸晶圆的硬盘磁头和磁传感器目标映射测量的非接触式评估系统。

用于晶圆的纵向克尔效应量测系统 BH-618SK,用于晶圆的纵向克尔效应量测系统 BH-618SK

通用参数

光源	二极管激光器（408nm 或 650nm）
测量克尔效应	纵向克尔效应
激光光斑直径	φ2mm
磁场	面内方向：Max. >±2kOe (±0.2T)
晶圆尺寸	8 英寸或 12 英寸晶圆

测量示例

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