产品特点
采用数字微镜 (DMD) 的无掩膜扫描式光刻机,365nm波长
直接从数字图形生成光刻图案,免去制作掩模板的中间过程,支持直接读取GDSII和BMP文件
全自动化的对焦和套刻,易于使用
晶圆连续运动配合DMD动态曝光,无拼接问题。全幅面绝对定位精度0.1um
套刻精度: 0.2um
500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm最大幅面(4~6寸晶圆),满幅面曝光时间5~30分钟
500um最小线宽
可灰度曝光(128阶)
尺寸小巧,可配合专用循环装置产生内部洁净空间
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