资料摘要
资料下载多年来，为了不断满足市场需求和同比更快更高效的设计，半导体元件尺寸已经达到甚至小于1X纳米节点。元件制造方法一直在提高，从2006年的65纳米达到了2014年的14纳米1X节点。国际半导体技术路线图目前预测第一个替代1X的7纳米元件或许会在2017年初次登场。[1]为了延续这样的速度，制造商必须有满足分辨率、精密度和精确度的计量要求的能力。满足这些需求的器械必须提供用于临界尺寸测量的纳米成像技术，测量结果可重复并且在大规模生产环境中能精确到提高生产力。[2] 为了应对这些挑战，通过Park系统，用原子力显微镜（AFM）工具和为自动采集和分析数据而特别定制的软件研发出一个引人注目的纳米测量方案。该软件被命名为Park XEA [3]，设计这个软件的目的是为了让过程控制工程师使用AFM系统获得目标元件准确和可重复的纳米级图像，依据用户自定义的程序定制配套文件。相应的增加生产力，使这种结合的软件和硬件方案吸引各个圆片级元件制造工厂。
文献贡献者
原子力显微镜用户操作手册
简介： 本手册共有32页，详细说明了原子力显微镜样品的制备流程。本手册为大家提供免费学习教程，旨在为使用原子力显微镜的研究人员或即将使用原子力显微镜的研究者们提供更有效的样品制备使用说明。 原子力显微镜以其较强的原子和纳米尺度上的分析加工能力，在纳米科学技术的发展中占据及其重要的位置，其测量结果会根据样品制备方式，AFM机台选择或者测量方法而发生巨大的变化。
Park NX10 用户维修手册中文版本
简介：原子力显微镜可以方便的测量导电、非导电，甚至一些液体样品也无需精密的样品制备，与TEM或SEM所需的广泛制备技术相比，这是一个显著的优势。 在此份200多页的Park NX10操作手册里面详细介绍了Park NX10原子力显微镜，请下载资料参考。
网络讲座：原子力探针显微术及其应用进展
简介：纳米科学与技术是当今前沿基础科学和高新技术研究中最具有发展潜力的领域之一，也是国际科技竞争的战略制高点。在纳米科技发展过程中，以电子显微术，扫描探针显微术及超分辨光学显微术为核心的纳米表征与测量技术起到了关键性的作用。目前，以扫描隧道显微术、原子力显微术为核心的一系列扫描探针显微术已经发展成为基础科学及技术应用研究中探测微纳米尺度物质结构、性质及功能的核心工具之一。目前，原子力显微术是使用最为广泛的扫描探针显微技术；它也可以作为微纳米尺度下的“眼”和“手”与其他表征和测量技术相结合，具有非常广阔的发展和应用空间。 在本讲座（共三次）中，我们将在（1）介绍扫描探针显微技术的基础上，进一步介绍原子力探针显微技术的基础理论、仪器与方法基础，（2）基本工作模式及其应用，最新技术和方法进展等。（3）在此基础上，我们将进一步介绍原子力显微技术的功能化探测模式及其微纳米尺度物性研究与测量中的应用。最后，我们将简要探讨原子力显微术的进一步研究发展方向等
Park SThM USER'S MANUAL 扫描热显微镜用户操作手册
简介：SThM技术通过使用带有电阻元件的热探针来绘制样品表面的热特性。扫描热显微镜（SThM）在两种模式下是可用的，热力模式（TCM）和热传导模式（CCM）。TCM允许用户测量样品表面的温度变化。CCM允许用户测量样品表面的热导率变化。
Park NX系列MFM USER'S MANUAL 磁力显微镜用户操作手册
简介：磁力显微镜（MFM）是一种通过测量磁化尖端和磁性表面之间的磁力来绘制样品表面磁性的技术。MFM图像包含有关磁性的信息，如磁域的分布。
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