Park帕克原子力显微镜
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仪器介绍 白光干涉仪和原子力显微镜联用 NX-Hybrid WLI
2022-18-25

视频详情：Park NX Hybrid WLI是有史以来第一款具有内置WLI轮廓仪的AFM，用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制，以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备，这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。

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