型号: | MultiGas™ Purity 2032 |
产地: | 美国 |
品牌: | MKS |
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MultiGasTM 2032气体纯度分析仪是一款傅立叶变换红外光谱气体分析仪,能够精确分析大宗高纯度气体(如NH3,NF3 SiF4,H2)在批量生产过程中的杂质气体。MultiGasTM 2032由一个高灵敏度的红外光谱气体分析探测器,高光通量且内壁抛光的采样单元和专用的气体分析软件组成,同时集成了进样气体的自动烘焙功能,所以对于大宗气体的杂质分析可以提供无与伦比的精度和准确性。
特点与优势
大宗工艺气体的实时在线纯度分析;
对于NH3,NF3,SiF4和H2等大宗工艺气体,可以跟踪探测ppb级别的杂质气体;
气室可以适用于具有腐蚀性的高纯气体;
专业化自动零点校正功能和自校准软件系统;
市场应用案例:
高纯NH3中的杂质气体分析,如:H2O, CO, CO2, N2O and CH4
高纯NF3中的杂质气体分析,如:H2O, CO, CO2, N2O and HF in NF3
高纯H2中的杂质气体分析, 如:H2O, CO, CO2, HF, HCI, NH3, CH2CI2 and CHCI3
高纯N2O中的杂质气体分析,如:H2O, CO, CO2, CH4, and NH3
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