COXEM台式扫描电镜下的微观世界 ——陶瓷材料

北京天耀科技有限公司

2020/07/01 13:50

陶瓷材料是指用天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的一类无机非金属材料。它具有高熔点、高硬度、高耐磨性、耐氧化等优点。可用作结构材料、刀具材料，由于陶瓷还具有某些特殊的性能，又可作为功能材料,因此研究开发新型功能陶瓷是材料科学中的一个热点领域。

当您在使用扫描电镜对陶瓷材料进行显微分析的过程中，是否遇到过荷电效应导致无法清晰成像？样品表面放电严重？这是因为陶瓷材料通常不导电或导电性能差,在电子束轰击时其表面发生电荷积累，无法确定您的感兴趣区域。这种荷电现象在实验中是非常普遍的，为了解决这个实验难题，COXEM台式电镜的高分辨性能和喷金处理的组合可以为您排忧解难。

利用具有超高分辨率的COXEM台式扫描电镜对陶瓷样品进行了微观形貌观察，以下是陶瓷样品在不同倍数下的扫描电镜图片：

1#陶瓷粉末样品

SE像，加速电压：20kV，工作距离：6.3mm，放大倍数：30,000 X

SE像，加速电压：15kV，工作距离：6.9mm，放大倍数：5,000 X

2#陶瓷纤维样品

SE像，加速电压：15kV，工作距离：10.7mm，放大倍数：10,000 X

SE像，加速电压：10kV，工作距离：6.5mm，放大倍数25,000 X

想要获得如上图所示的陶瓷材料高分辨照片，我们可以通过以下方法去实现：1）喷金处理、2）减小束斑大小、3）适当增加加速电压、4）减小工作距离、5）减小样品尺寸等。由于COXEM系列台式扫描电镜利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，加速电压调节范围广（1-30kV连续可调），束班连续可调，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得高分辨率的陶瓷样品微观形貌，表面信息更丰富细腻，为陶瓷材料领域的研究提供了可靠、真实的依据。

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