COXEM台式电镜在电子半导体领域应用(中文)

2017/12/19   下载量: 3

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应用领域 半导体
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使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时,需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加 速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法,都是非常重要的。

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使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时,需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加 速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法,都是非常重要的。

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