型号: | 安赛斯HC160SE |
产地: | 北京 |
品牌: | Analysis |
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安赛斯HC160SE可编程匀胶机(旋涂仪),适合6英寸及以下晶元的旋涂。
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产品介绍:
名称:安赛斯可编程匀胶机HC160SE
品牌:ANALYSIS
型号:HC160SE
产地:
应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
产品概述:
匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和高级PLC 控制,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
性能参数:
l 支持wafer尺寸:5mm-160mm(6"圆晶)
l 速度可调范围:100-12000rpm
l 加速度可调范围:100-30000rpm/s
l 转速分辨率:1rpm
l 转速精度:1rpm
l 可编程100组10步程序
l 宽电压输入:AC100-230V
产品优点:
l 直流无刷电机,PLC 控制
l 4.3”全彩触摸屏
l 系统中英文可选
l 带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能
l HDPE 内腔,SUS 外壳,耐溶剂PC 透明盖
l 真空互锁及盖子开关互锁安全功能
产品外型尺寸:
358mm(D)*250mm(W)*255mm(H)
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公司的客户涉及高等院校、科研院所、航空航天、微电子、新能源、生物医药、节能环保等行业和领域。拥有具备丰富知识和专业经验的技术服务团队,致力于更好的为行业客户提供专业、便捷的本地化服务。
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用户单位 | 采购时间 |
清华大学 | 2015/10/15 |
中国科学院物理研究所 | 2015/08/04 |
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