| 型号： | EDK 4500 EIMS |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | 杜克泰克 |
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工作原理
离子迁移谱（IMS）是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是：结构紧凑、灵敏度高（ppb-ppt级）、响应速度快（毫秒范围）、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。
特点优势
l 晶圆厂AMC监控
l 环境空气ppb级别检测
l TA、HCl、HF、NH3、VOC
l 非放射性等离子体电离源
l 高灵敏度
l 与猎户座3100结合，可以监控45个端口
l 实时图形软件
离子迁移谱技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测氯化氢（HCl）和氟化氢（HF）的灵敏度和快速响应。
HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。
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