[CN中文]美国Instec温控晶圆夹盘TC102S TC104S

2015-08-19 13:55  下载量:2

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可编程精密控温。 半导体制冷。 适用最大100 mm尺寸晶圆。 超低的盘面温度梯度。 独立的上盘面真空气槽,用于固定多种尺寸晶圆。 尺寸超薄,可集成进探针台。 可快速装载晶圆的凸起结构台面。

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