方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
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| 参考标准 | / |
在本申请中，用0度和90度的不同角度进行的测量证实了该样品的主轴定向在0度方向上。 关键词：260-TR-0153，全同立构材料，聚丙烯，变角透射红外光谱，红外光谱，偏振，外延层，薄膜涂层，二向色性，
在半导体工业中，红外光谱被广泛用于常规分析，如氧和碳等杂质的定量、绝缘膜的表征和外延膜的厚度测量。有许多分析方法可以使用，其中传输测量是最流行的。然而，由于硅片具有高反射率，用于测量的光可能会反射回干涉仪，从而在红外光谱中产生噪声。
VAT-500i可变角度透射率测量附件可用于具有强反射率的具有挑战性的样品。入射角的变化会阻挡光反射到干涉仪中。此外，在入射角从10度到20度的微小变化的情况下，可以显著降低由于水蒸气引起的噪声。
对于诸如聚合物分析、薄膜涂层和定向膜的二向色性测量等应用，偏振器可以安装在VAT-500i的光路上。图4显示了取向聚丙烯膜的二向色性测量。使用可旋转的样品支架，可以确认具有未知方向的样品的方向。在本申请中，用0度和90度的不同角度进行的测量证实了该样品的主轴定向在0度方向上。图4显示了0度和90度位置的吸收光谱，表明该聚丙烯是全同立构的。此外，在1168cm-1和998 cm-1处的吸收差异很大，这是由于结晶和全同立构螺旋结构，可以用来确定结晶程度。
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