工业气体分析系统——PFC气体分析

2023/07/03   下载量： 0 次

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应用领域 石油/化工
检测样本 工业气体
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关键字：GAS-8M-VIR Gas Cell

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诸如CF3、C2F6、C4F8和CHF3的PFC（全氟碳）气体被用作干式磨边和CVD设备的清洁剂，这是半导体制造中的一个关键过程。PFC气体被认为是全球变暖或“温室”气体，迫切需要控制这些气体的进一步排放。FTIR光谱可用于PFCs的分析。VIR系列FTIR光谱仪结构紧凑（占地面积：A4尺寸，重量：18公斤），性能可靠，适用于在线工业监测应用。多通道、长路径气室以优异的灵敏度提供最大吞吐量，VIR系列可配置用于半导体PFC气体的流通或静态测量。多变量分析方法（CLS、PCR、PLS和省略号）都可以用于多组分样品的同时定量。

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文献贡献者

佳士科商贸有限公司
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