任氏巨源WBMW-DLZ3微波等离子体化学气相沉积炉

可加热材料

                                 非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

最大功率/KW

3 (功率可调)

最高工作温度/℃

1200

长期工作温度/℃

≤1100

温度测试元件

微波场专用传感器/红外测温可选

控温精度/℃

±2（微波场专用传感器）

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系统配置（可选）

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；

10-1Pa真空用高档机械泵及真空计；

10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计；

10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计；

升温速率(标配)

   0～1000℃/min任意设定，可编程、分段加热

外型尺寸(长x宽x高)/mm

1000′750′1830

微波泄漏量/  mW/㎝

≤0.4

提供相关配件

高温手套×1、中文说明书×1

保质期

整机免费保修1年