型号: | Omega/Theta XRD |
产地: | 德国 |
品牌: | Freiberg Instruments |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
Omega/Theta XRD
用于生产的立式XRD
转移技术:可高效率进行多个铸锭同时定向
同时测定(Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料)所以晶体方向取向,测量单晶晶体取向偏差。
快速测量晶体取向,测量时间仅需5秒
自动晶片分类和处理
摇摆曲线测量和3Dmapping绘图
晶圆表面翘曲度偏差检测
整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping
精度:0.001°
设备操作简单、快捷、方便,适用于各研究机构和全自动化生产线
测试案例:
设备测试实例:
蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量:窄反射峰=表面质量好
SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量:宽反射峰=晶体表面局部干扰
单晶涡轮叶片检测图:
碳化硅晶圆检测案例:
晶体取向mapping
总倾斜偏差mapping
表面倾斜偏差mapping
垂直方向倾斜偏差mapping
水平倾斜偏差mapping
摇摆曲线mapping
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询