FEI Vion Plasma 聚焦离子束系统
FEI Vion Plasma 聚焦离子束系统
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FEI Vion Plasma 聚焦离子束系统

参考价:¥300万 - 350万
型号: Vion Plasma
产地: 美国
品牌: 赛默飞
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核心参数
上海禹重实业有限公司
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产品详情

产品概述:

Vion PFIB 是一款具有高精度、高速度切割和铣蚀能力的仪器。 其具有选择性铣蚀所关注区域的能力。 此外,PFIB 可以选择性沉积带图案的导体和绝缘体。 高速铣蚀和精密控制的结合可确保该系统以多种方法应用于集成电路的制造,如: 

* 凸起物、焊线、TSV 和晶片堆叠失效分析 

* 手术刀般移除封装和材料,实现嵌入芯片块的失效分析和故障隔离 

* 适用于封装级流程监控和开发 

* 封装部件和 MEMS 设备的缺陷分析

主要优点:

* 借助较传统镓离子 FIB 快 20 倍的铣蚀速度提高生产效率

* 快速精确的横截面操作可揭示缺陷和表面下方特征

* 铣蚀和成像射束电流变化范围宽广(从数 pA 至 1 μA 以上)

* 使用沉积化学来保护表面特征

* 可选的电荷中和器功能可实现对带电结构进行切片 

* 可选的背面硅使用、专利同轴气体输送喷嘴

* 通用硬件和软件架构以及其他 FEI FIB、SEM 和 DualBeam 仪器

上海禹重实业有限公司为您提供赛默飞FEI Vion Plasma 聚焦离子束系统,赛默飞Vion Plasma产地为美国,属于透射电子显微镜(透射电镜、TEM),除了FEI Vion Plasma 聚焦离子束系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供赛默飞TRACE 1300 模块化气相色谱仪、赛默飞 Thermo ISQ单四极杆气质联用仪、赛默飞TSQ 8000 Evo三重四极杆气质质联用仪,上海禹重客服电话400-860-5168转3774,售前、售后均可联系。

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