型号: | SID4-UVHR |
产地: | 法国 |
品牌: | Phasics |
评分: |
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Phasics利用其四波横向剪切干涉技术,在紫外波前测量提供了较好的解决方案。它有非常高空间分辨率(250x250测量点)和在190-400nm范围具有高灵敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性(用于光刻技术、半导体…)和表面检查(透镜和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。
SID4-UVHR 光学器件测量 自适应光学
特点:
由于其独特的专利技术技术,Phasics的SID4-UVHR波前传感器具备以下特点:
1.超高分辨率:250x250测量点
2.高灵敏度:0.5nm
3.通光孔径大:8*8mm
4.直接测量:光学元件和表面质量
应用:
SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用:
紫外激光器:光束测试与校正
光学测量:UV光学测试(半导体…)和表面测量
SID4-UVHR产品参数:
波长范围 | 190 - 400 nm |
通光孔径 | 8 x 8 mm2 |
空间分辨率 | 32 μm |
采样点(相位/强度) | 250 x 250 (> 62 500 points) |
相位相对灵敏度 | 0.5 nm RMS |
相位精度 | 10 nm RMS |
动态范围 | ~ |
采样频率 | > 30 fps |
实时分析频率 | 1 fps (full resolution) |
数据接口 | Giga Ethernet |
尺寸(w x h x l) | 95 x 105 x 184 mm |
重量 | ~900 g |
用户单位 | 采购时间 |
华东师范大学 | 2013/02/19 |
上海理工大学 | 2015/02/25 |
上海大学 | 2016/06/23 |
上海交通大学 | 2016/03/23 |
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