硅片厚度测量仪SIT-200
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硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪SIT-200

参考价:¥5万 - 10万
型号: SIT-200
产地: 上海
品牌: Eachwave
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产品详情

硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪(SIT-200)由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。

 

产品特点:

l  全光学,非接触硅片厚度测试

l  高动态范围测量粗糙表面

l  湿法刻蚀过程中实时测量

高灵敏度         高精度           快速测量        远程控制


                          结构示意图

SIT-200                                 

产品参数:

测量目标

硅片

测量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm扫描

功率

0.6mwClass1

指示光源

红光,Class1M

测量时间

20ms

重复性

0.1μm

输出监控

干扰信号(电学)

PC接口

网口

供电

100-240V50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

 


上海屹持光电技术有限公司为您提供Eachwave硅片厚度测量仪SIT-200,EachwaveSIT-200产地为上海,属于进口其它光学测量仪,除了硅片厚度测量仪SIT-200的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它光学测量仪,屹持光电客服电话,售前、售后均可联系。

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